產品明細

光譜共焦量測系統

料號：VAS/VIS

商品簡述

通過光學檢測實現品質控制

單點緊湊型光學感測器
半導體和一般微電子領域的晶圓量測
機械或光學部件的量測和線上控制
量測和控制玻璃或塑膠薄膜的厚度

產品詳細介紹Product Introduction

概述

我們的新型光譜共焦感測器可達成高精度無接觸距離和厚度量測。因此，非常適用於位置和尺寸確定（如微電子元件）、形貌、輪廓等應用，以及玻璃或塑膠塗層的厚度量測。
光譜共焦在狹小空間亦具有很大的靈活性。細緻的控制器和光學探頭透過光纖連接接。這使得它可以單獨將光學探頭與控制器分開。此外，探頭不包含任何影響量測準確性的移動零件或發熱電子元件。
由於其細緻的尺寸和實惠的價格，光譜共焦是傳統雷射三角量測感測器的理想替代品。

規格表

	量測範圍	工作距離 1)	厚度量測範圍 2)	軸向解析度	線性精度	光斑直徑	量測角度 3)	重量
VAS 500	500 μm	12.7±0.5 mm	最大0.75 mm	20 nm	170 nm	5 μm	90°±45°	250 g
VIS 4K	4 mm	37.5 ± 0.9 mm	最大 6 mm	180 nm	1.4 μm	8 μm	90°± 20°	162 g
VIS 10K	10 mm	69 ± 1.7 mm	最大 15 mm	400 nm	4 μm	16 μm	90°± 14°	209 g

備註：

1) 光學探頭底部到量測範圍中間

2) 折射率 n = 1.5 在透明材料上

3) 大角度偏轉時精度降低

所列資料為典型使用環境下得出，在不同環境條件下可能不同。

特色

高效性	多樣性	簡便易用&安全
性價比高的解決方案	易於集成	對溫度和污染不敏感
最先進的光譜共焦技術	光學探頭和控制器獨立	重量輕
所有表面的量測	免維護，耐用	低耗能
同軸量測，無陰影效應	佔用空間少

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光譜共焦量測系統

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概述

規格表

特色

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